顯微分光膜厚儀廣泛應用于各種薄膜、涂層光學常數(shù)(nandk)和厚度的精確測量,設備分為在線和離線兩種工作模式,操作便捷,幾秒鐘內即可完成測量和數(shù)據(jù)分析,USB連接計算機控制;薄膜表面或界面的反射光會與從基底的反射光相干涉,干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數(shù)等有關,因此可通過計算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無損、精確且快速的光學薄膜厚度測量技術,我們的薄膜測量系統(tǒng)采用光干涉原理測量薄膜厚度。
顯微分光膜厚儀特色功能:
•使用顯微光譜法在微小區(qū)域內通過絕.對反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數(shù)分析。
•可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數(shù)的軟件。
•頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
•通過顯微光譜法測量高精度絕.對反射率(多層膜厚度,光學常數(shù))
•1點1秒高速測量
•顯微分光下廣范圍的光學系統(tǒng)(紫外至近紅外)
•區(qū)域傳感器的安全機制
•易于分析向導,初學者也能夠進行光學常數(shù)分析
•獨立測量頭對應各種inline客制化需求
•支持各種自定義
測量項目:
•絕.對反射率測量
•多層膜解析
•光學常數(shù)分析(n:折射率,k:消光系數(shù))